涡轮泵 — 提供适当的流速和压力 (20-90 psi、1.4-6.9 bar)，这适用于要求压力较高的应用 或会出现一个更高系统压降（如长管道运行或垂直抽水）。 稳健的 设计让涡轮泵极具可靠性，能够忽略液流中的杂质。 青铜涡轮泵是标准泵；也可以使用不锈钢泵。 容积式泵 — 性能特点 与涡轮泵相似，适用于高粘性浴液、高远距离泵送的 冷却产品和应用。...
单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替布置。动静叶轮的几何尺寸基本相同，但叶片的倾角相反。图 2 显示了一个由 20 个移动叶轮组成的整体转子。每两个动叶轮之间安装一个静叶轮。静叶轮外缘用圆环固定，动叶轮与静叶轮之间保持1mm左右的间隙，动叶轮可以在静叶轮之间自由转动。 ...
如果用单位面积的释气率值乘以我们真空室的表面积，则结果就是释气率为 1.95 · 10-5 mbar · l · s-1。如果我们使用型号为 HiPace 300 的涡轮分子泵以 300 l/s的泵速对真空室进行抽气，我们理论上获得的底压为 6.5 ·10-8 mbar。表格中给出的数值通常是经过 1 小时抽空后测量的结果。因此，我们需要一小时来达到该规定的压力。...
由于外壳中所谓的直升飞机效应，大型处理室的突然排气会导致涡轮分子泵转子受损。为保护涡轮分子泵不受损伤，普发真空还提供了一个安全阀，在前级泵或前真空失效的情况下，安全阀就会立即关闭处理室的排气管道。关闭时间必须相对较短。如可进行前级压力测量，可利用压力上升或前级泵故障信号来对安全阀进行控制和操作。标注排气管道的尺寸建议至少按照泵的标称尺寸安装排气管道和阀门，因为不良流导值会导致抽速显著下降。...
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