曾正等的研究表明,芯片功率回路的寄生电容主要由DBC陶瓷层的寄生电容决定,可表示为式中:ε0 = 8.85 × 10-12F/m,表示真空介电常数;εr =9,表示 Al2O3陶瓷相对介电常数,对于陶瓷 AIN和陶瓷Si3N4,相对介电常数分别等于8. 8和6. 7。寄生参数分布仿真结果如图 5 所示,经验证与式(1)和式(2)的数据拟合结果基本一致。...
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