AS ISO 18114-2006
表面化学分析．次级离子质谱法．植入离子的参考材料的相对灵敏系数的测定

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

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标准号

AS ISO 18114-2006

发布日期

实施日期

废止日期

无

发布单位

AU-SA

适用范围

Adopts ISO 18114:2003 to specify a method for determining relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials.

AS ISO 18114-2006 中可能用到的仪器设备