非常抱歉,我们暂时无法提供预览,您可以试试: 免费下载 DIN 58739-5:2009 前三页,或者稍后再访问。
如果您需要购买此标准的全文,请联系: 。
点击下载后,生成下载文件时间比较长,请耐心等待......
这个被誉为光学工业之花,他的光源现在就是深紫外激光!而中国的光刻机现在进展如何了?一则小小的新闻会告诉我们答案。 2016年1月29-30日,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(简称02专项)实施管理办公室在清华大学组织召开了“光刻机双工件台系统样机研发”项目的专项内部验收会。02专项““光刻机双工件台系统样机研发”项目日前通过专项内部验收会。...
由中国科学院光电技术研究所(以下简称光电所)承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,这是世界上首台用紫外光实现了22nm分辨率的超分辨光刻装备,为纳米光学加工提供了全新的解决途径。突破分辨力衍射极限《科学》杂志曾提出本世纪125个最具挑战性的科学问题,其中第40个问题涉及能否大幅突破衍射极限制造完美光学透镜。...
光学检测与测量既可以在线下进行,即将工件从生产线上取下送到检测台进行测量;还可以在线上进行,即工件无须离开产线;前者被称之为离线检测,后者为在线检测。此外,工件还可以在生产线旁接受检测,完成后可以迅速返回生产线,属于在线检测的一样场现方式。 所有这些光学测量仪器放大图像的原理都与照相机有些类似,但又有不同,它属于从照相到显微的复合焦段光学系统。...
2.1 光刻电铸技术这部分主要介绍通过光刻法来制造三维微纳米结构模块的微电铸技术,这种技术起源于超大规模集成电路中的镶嵌工艺。首先,三维微纳米结构在厚厚的抗蚀剂层中被制备出来,然后互补的三维微纳米结构再通过微电铸在模块化的抗蚀剂中被制备出来。这种技术生产的三维微纳米结构具有高纵横比、高精确度和表面光滑等优点。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号