1.1 本标准规定了压力范围为 105 Pa 至 10-11 Pa 的真空系统中使用的刀口式法兰及其相关垫片的尺寸。此类法兰广泛用于半导体加工工具、表面分析系统、空间模拟系统以及需要真空的一般研究。 1.2 以 SI 单位或英寸-磅单位表示的值应单独视为标准。每个系统中规定的值可能并不完全相同;因此,每个系统应独立使用。组合两个系统的值可能会导致不符合标准。 1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。