美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪特殊功能优点:1、完全封闭的设计,温度更稳定。2、特殊的设计使震动偏移降到较低。3、图形式使用界面更容易使用。4、当改变弹性模数,晶圆或薄膜厚度设备会自动重新计算应力保存数据文档。5、可以计算双轴弹性模量和线膨胀系数。6、可以计算应力的均匀性。7、可以输出数据到Excel ,提供给SPC 分析。8、多重导向销设计,手动装载样品,有优异的重复性与再现性研究。...
表面形貌测量仪应用在手机外壳的检测 表面形貌测量仪是一种非接触式光学3D轮廓仪,具有测量薄膜和厚膜的功能。除提供尺寸和粗糙度测量功能,还可以提供两种类型的膜厚测量,测量较薄的涂层被证实为难度更高。 采用这种新型方法,可以在单次测量中研究膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层表面的剥离等特性。...
相关应用:粗糙度测量;三维形貌表征;台阶高度测量探针式表面轮廓仪 台阶仪P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。相关应用:表面结构分析;蚀刻深度测量;柔性薄膜;薄膜/厚膜台阶;光阻/光刻胶台阶;薄膜的2D stress量测;表面的3D轮廓成像;缺陷表征和缺陷分析;表面粗糙度/平整度表征;表面曲率和轮廓分析。...
例如晶圆粗糙度和翘曲度、CMP后晶片的平整度、CMP抛光垫和修整器的表面形貌、RDL、UBM、TSV、Overlay等。4月7日,将邀请专家分享纳米压痕技术和三位光学轮廓仪在半导体行业中的应用。希望能给行业内工作者带来帮助和启发。...
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