BS ISO 17331-2004+A1-2010
表面化学分析.从硅片工作标准物质表面采集元素的化学方法及其全反射X射线荧光光谱(TXRF)法的测定

Surface chemical analysis. Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

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标准号

BS ISO 17331-2004+A1-2010

发布日期

2005年03月31日

实施日期

2005年03月31日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.50

发布单位

GB-BSI

被代替标准

02/122627 DC-2002 BS ISO 17331-2004

BS ISO 17331-2004+A1-2010 中可能用到的仪器设备