GOST 26239.8-1984
半导体硅及其初始产品.二氯硅烷,三氯硅烷和四氯化硅测定法

Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination


 

 

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标准号
GOST 26239.8-1984
发布
1984年
发布单位
RU-GOST R
当前最新
GOST 26239.8-1984
 
 
引用标准
GOST 18300-1987 GOST 20015-1974 GOST 25336-1982 GOST 2603-1979 GOST 26239.0-1984 GOST 5072-1979 GOST 9293-1974

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