BS EN 62047-6:2010
半导体装置.微机电装置.薄膜材料的轴向疲劳试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Axial fatigue testing methods of thin film materials
- 标准号
- BS EN 62047-6:2010
- 发布
- 2010年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-6:2010
- 适用范围
- 本国际标准规定了长度和宽度在1毫米以下、厚度在0.1微米至10微米范围内的薄膜材料在恒力范围或恒位移范围下的轴向拉-拉力疲劳试验方法。 薄膜被用作MEMS和微机械的主要结构材料。 MEMS、微机械等的主要结构材料具有特殊的特点，例如典型尺寸为几微米、通过沉积制造材料、通过非机械加工（包括光刻）制造测试件。 本国际标准规定了微米级光滑试样的轴向力疲劳试验方法，保证了与特殊特征相对应的精度。 测试在室温、空气中进行，负载沿纵轴施加到测试件上。
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