ISO/TS 25138:2010
表面化学分析.用辉光放电发射光谱测定法分析金属氧化物薄膜

Surface chemical analysis - Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical-emission spectrometry

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标准号: ISO/TS 25138:2010
发布: 2010年
发布单位: 国际标准化组织
替代标准: ISO/TS 25138:2019
当前最新: ISO/TS 25138:2019

引用标准: ISO 14284 ISO 14707 ISO 16962:2005

适用范围: 本技术规范描述了一种用于测定金属氧化物薄膜的厚度、单位面积质量和化学成分的辉光放电发射光谱法。该方法适用于金属上厚度为 1 nm 至 10 000 nm 的氧化膜。氧化物的金属元素可包括Fe、Cr、Ni、Cu、Ti、Si、Mo、Zn、Mg、Mn和Al中的一种或多种。该方法可以测定的其他元素有 O、C、N、H、P 和 S。

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