照片22、MEMS器件及表面缺陷(微型机电系统)MEMS是在半导体技术基础上发展起来的一门新型科学技术,涉及各学科的交叉及多种工艺的应用。MEMS电路大多数都是由复合薄膜构成,通过薄膜腐蚀及牺牲层释放实现。因为在工艺过程中产生残余应力,造成结构形状、尺寸发生变化,过大的残余应力致使MEMS器件发生翘曲破坏,研究MEMS器件残余应力是相当重要的问题。...
Festo气缸体在使用过程中,往往产生变形,从而破坏零件的几何形状,使配合表面的相对位置偏差增加。变形超过允许限度时,将引起漏水、漏气,冲坏气垫等。气缸体顶平面的翘曲,多是由于气缸盖螺栓扭力不均匀,螺孔周围受螺栓拉力作用而凸起等原因所致。安装时,应按规定扭力拧紧,不能将螺栓拧得过紧。分解后,应使用软刷和溶剂清洗气缸体。将气缸体表面上的所有衬垫材料都刮干净。...
是通过气压传动中将压缩气体的压力能转换为机械能的气动执行元件,一般应于印刷(张力控制)、半导体(点焊机、芯片研磨)、自动化控制、机器人等。...
下图:翘曲交点线角随银心距存在进动。 “尘埃消光是测量银河系银盘恒星距离的最大障碍,红外多窗口研究可以大大缓解这一困难。”论文合作者王舒解释道。 1339颗造父变星犹如明灯一样点亮了被烟雾笼罩的银河。从三维空间分布图中,他们发现距离银河系中心越远,这些造父变星就越偏离银盘面,整体呈“S”型;如果面向银心并让北银极朝上,那么左手边的银盘会朝上(北)卷起,右手边的则相反。...
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