4、罗茨真空泵每6个月检查: 1)前盖轴承箱内润滑油是否变质。 2)活塞环及活塞环衬套是否磨损。 3)齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响,是否需要调整。 (二)、罗茨真空泵拆装: 增压泵进行拆卸和重新装配时,须根据以下注意事项进行: 1、罗茨真空泵未拆卸前,先测量并记录转子各部分间隙。 2、尽量避免用重锤敲打,拆下的零件不得碰伤,妥善保管好。 ...
(c)齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响,是否需要调整。 (二)、罗茨真空泵拆装: 增压泵进行拆卸和重新装配时,须根据以下注意事项进行: 1、罗茨真空泵未拆卸前,先测量并记录转子各部分间隙。 2、尽量避免用重锤敲打,拆下的零件不得碰伤,妥善保管好。 3、将需要更换的零部件的更换原因及使用情况详细记录下来。 ...
然后,评估了HiPace 300 H 涡轮泵(氢气压缩比≥1 · 10 7 )与四个独立的干式前级泵(一台旋片泵、一台多级罗茨泵、一台两级和三级隔膜泵)配对时的 UHV 性能。每次测量的时间跨度为一天,用热阴极和冷阴极电离真空计跟踪每个前级泵/主泵对腔体的抽真空情况(见表 1)。...
罗茨泵的工作原理 罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。...
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