BS EN 62047-4:2010
半导体装置.微电机装置.微电子机械系统(MEMS)一般规格
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Generic specification for MEMS
- 标准号
- BS EN 62047-4:2010
- 发布
- 2010年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-4:2010
- 适用范围
- IEC 62047 的这一部分描述了由半导体制成的微机电系统 (MEMS) 的通用规范，这是本系列其他部分针对各种类型 MEMS 应用（例如传感器、RF MEMS，不包括光学 MEMS）给出的规范的基础。 生物 MEMS、微型 TAS 和功率 MEMS。 该标准规定了 IECQ-CECC 系统中使用的质量评估的一般程序，并建立了描述和测试电气、光学、机械和环境特性的一般原则。 IEC 62047 的这一部分有助于制定定义微加工技术制造的设备和系统的标准，包括但不限于材料表征和处理、组装和测试、过程控制和测量方法。 该标准中描述的MEMS基本上由半导体材料制成。 然而，本标准中的陈述也适用于使用半导体以外材料的MEMS，例如聚合物、玻璃、金属和陶瓷材料。
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