GB/T 26533-2011
俄歇电子能谱分析方法通则
General rules for Auger electron spectroscopic analysis
GBT26533-2011, GB26533-2011
- 标准号
- GB/T 26533-2011
- 别名
- GBT26533-2011
GB26533-2011 - 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 26533-2011
- 引用标准
- ASTM E1078-02 ASTM E1829-02 GB/T 22461-2008 ISO 18116:2005 ISO 18118:2002 ISO/TR 15969:2001 ISO/TR 18394:2006 ISO/TR 19319:2003
- 本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱（AES,Auger Electron Spectroscopy）的一般表面分析方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪。
GB/T 26533-2011相似标准
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俄歇电子能谱分析的依据
俄歇电子的激发方式虽然有多种（如X射线、电子束等），但通常主要采用一次电子激发。因为电子便于产生高束流，容易聚焦和偏转。分析依据：俄歇电子的能量具有特征值，其能量特征主要由原子的种类确定，只依赖于原子的能级结构和俄歇电子发射前它所处的能级位置, 和入射电子的能量无关。测试俄歇电子的能量，可以进行定性分析；根据俄歇电子信号的强度，可以确定元素含量，进行定量分析。...
俄歇电子能谱分析的用途
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俄歇电子能谱分析的原理
俄歇电子能谱分析是通过检测试样表面受电子或X射线激发后射出的俄歇电子的能量分布来进行表面分析的方法，写作AES。是电子能谱分析技术之一。其原理是：用具有一定能量的电子束或X射线激发试样，使表面原子内层能级产生空穴，原子外层电子向内层跃迁过程中释放的能量又使该原子核外的另一电子受激成为自由电子，该电子称为俄歇电子，其能量与激发源能量无关并带有特征性。...
俄歇电子能谱分析的特点
由于电子束束斑非常小，AES具有很高的空间分辨率，可以进行扫描和在微区上进行元素的选点分析、线扫描分析和面分布分析。（4）可获得元素化学态的信息。（5）具有元素深度分布分析的能力，需配合离子束剥离技术。（6）定量分析精度还不够高。俄歇电子能谱现已发展成为表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微区分析的重要手段。在材料研究领域具有广泛的应用前景。...