GOST R 8.716-2010
国家测量一致性体系.波长范围在10到30 nm的多层纳米结构特性测量用超紫外辐射反射计.测量程序

State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range 10 to 30 nm. Measurement procedure

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标准号: GOST R 8.716-2010
发布: 2010年
发布单位: RU-GOST R
当前最新: GOST R 8.716-2010

引用标准: GOST 8.197-2005 GOST 8.207-1976 GOST 8.552-2001

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