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具体来说,DUV光刻机利用光刻气体来制造光源,这是一种稀有气体与氟的混合气。常见的光刻气体有氩氟氖混合气、氪氖混合气、氩氖混合气、氩氙氖混合气等等。制造时,需要利用高压激发这些稀有混合气体,产生电子跃迁,从而产生波长稳定的光线,经过聚合滤波等过程形成光源。原子核外的电子在发生跃迁的时候,如果是跃迁至低能级,就会释放出光子,将它在增益介质中反复放大能量后,发射出去就形成了一个波长稳定的激光。...
氩中氯气处理流程图明尼克热线010-84723211QQ:3250462584www.mingnike.com 长按识别二维码关注我们全心服务...
氖可用于霓虹灯、水银灯、绝缘检测器、高频率验电器、等离子体研究、激光器等,用作低温冷却剂、标准气、特种混合气等。世界上第一盏霓虹灯是填充氖气制成的(霓虹灯的英文原意是“氖灯”)。氖灯射出的红光,在空气里透射力很强,可以穿过浓雾。因此,氖灯常用在机场、港口、水陆交通线的灯标上。03 氩氩气在常温常压下为无色无臭无毒气体,它不燃烧,无腐蚀性,微溶于水和有机溶剂。氩气经高能的宇宙射线照射后会发生电离。...
高纯气体对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氩,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。 高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体,和无机高纯气体,...
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