VDI 2083 Blatt 5.1-2007
洁净室技术 洁净室操作
Cleanroom technology - Cleanroom operation
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 5.1-2007
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 5.1-2007
- 引用标准
- DIN 31051:2003 DIN EN 1149-3:2004 DIN EN 14683:2006 DIN EN 31092:1994 DIN EN 61 DIN EN 61340-2-1:2003 DIN EN 61340-2-3:2000 DIN EN 61340-3-1:2005 DIN EN 61340-3-2:2005 DIN EN 61340-4-1:2004 DIN EN 61340-4-3:2002 DIN EN 61340-4-5:2005 DIN EN 61340-5-1:2001
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 2-1996 VDI 2083 Blatt 4-1996 VDI 2083 Blatt 5-1996 VDI 2083 Blatt 5.1-2005
- 适用范围
- 该指南描述了洁净室系统的运行要求，这些要求被指定为质量保证的一部分，以确保工艺环境的相应清洁度要求。适用范围包括所有可计划和可预见的运行状态。除洁净室过程和生产过程外，还包括正常运行、闲置运行、故障以及故障排除和维护和修理措施。纯度要求应涵盖各个应用所必需的所有污染类别：物理（颗粒）、化学（分子）和生物。例外情况，例如： B. 灾害和火灾不属于范围。*www.vdi.de/2083
VDI 2083 Blatt 5.1-2007相似标准
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