而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。图5-1 弧矢、子午和明晰圆对应的图像所以反映在电镜图像上,改变焦距的时候会出现两个严重的拉伸,拉伸方向可能因样品而不同,但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,进行消像散线圈的调节,先调X或Y中的一个维度,待图像达到最清楚后再调节另一个维度。...
主要由以下几部分组成:(1)电子枪:产生足够亮度和速度的电子束– 灯丝:产生热电子– 栅极:静电聚焦作用形成一个 10μm—100μm交叉点– 阳极:加速电子作用(2)电磁透镜:– 聚光镜:两或三级,控制束流缩小电子束直径几十分之一到一百几十分之一;– 物镜:调节电子束焦距,缩小电子束直径– 为了挡掉大散射角的杂散电子,使入射到样品的电子束直径尽可能小, 会聚透镜和物镜下方都有光阑。...
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