JIS K0169-2012
表面化学分析.二次离子质谱(SIMS).带多重亚铅层对照物的深度分辨率参数估算方法

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry (SIMS) -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

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标准号

JIS K0169-2012

发布日期

2012年04月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

JP-JISC