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预览 本文利用等温量热仪对光栅尺的发热特性进行了研究,测定得到了光栅尺读数头在正常工况下的实时发热功率。前言光栅尺,也被称为光栅尺位移传感器,是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置,用于直线位移或者角位移的高精度检测,具有检测范围大、检测精度高、响应速度快等特点。光栅尺常被应用于精密设备的伺服系统中,如光刻机工作台、超高精度机床(数控机床)和先进科学仪器等。...
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