氮化结合碳化硅耐火材料的化学分析 第2部分:XRD 方法, 您可以免费下载预览页
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氮化镓的难度主要在于在晶格。当前,氮化镓发展瓶颈段仍在基板段,成本昂贵且供应量不足,主要是因为氮化镓长在硅上的晶格不匹配,困难度高。对于碳化硅,长晶的源头晶种来源纯度要求高、取得困难,另外,长晶的时间相当长且长晶过程监测温度和制程的难度高。碳化硅长一根晶棒需时2周,成果可能仅3公分,也加大了量产的难度。...
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