DS/EN ISO 14644-5:2004
洁净室和相关的受控环境第5部分：操作

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations

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标准号: DS/EN ISO 14644-5:2004
发布: 2004年
发布单位: 丹麦标准化协会
当前最新: DS/EN ISO 14644-5:2004

适用范围: 本标准规定了洁净室运行的基本要求。它适用于那些计划使用和操作洁净室的人。

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