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通过适当的布局，两个真空回路的完全独立导致影响因素（图5，第 1 级和第 2 级）的解耦，从而使得两个主变量成为决定各级工艺的唯一因素。两个真空级的解耦也呈指数性地增加理论上可实现的真空。因为第二真空级可以以预抽空的空间开始，所以仅用单级工艺所需真空室体积的一小部分便可实现明显更低的压力。所获得的工艺稳定性和真空值两级工艺与一级工艺中获得的压力曲线完全不同（图 6）。...
新的压力上升测量现在显示：“工艺准备就绪”►图2：普发真空 ASM 380 泄漏检测产品组合是大型系统中移动使用的最佳选择。 普发真空令人信服的泄漏检测解决方案 普发真空凭借其全面的泄漏检测产品组合，为半导体生产系统上的泄漏检测提供最佳解决方案。该产品系列包括便携式、通用型以及高性能检漏仪。...
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10#机真空系统存在一定的泄漏，真空严密性试验效果不理想，真空严密性试验结果为1.56kPa/min。利用德国氦质谱仪对机组真空系统进行检测，检测时，负荷289.4MW；汽封母管压力28.61kPa；空冷风机全部运行；真空70.48kPa。 3.1 性能试验方法 ①灵敏度及其校准氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。...
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