BS ISO 16413-2013
采用X射线反射计对薄膜厚度, 密度和接口宽度的评估. 仪器要求. 校准和定位, 数据收集, 数据分析和报告

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

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标准号: BS ISO 16413-2013
发布日期: 2013年03月31日
实施日期: 2013年03月31日
废止日期: 无
中国标准分类号: A52
国际标准分类号: 35.240.70;71.040.40
发布单位: 英国标准学会

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