ASTM E1508-12
用能量分散能谱学作定量分析的标准指南

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适用范围: 本指南涵盖了量化微观结构中相的元素组成的程序。它包括使用标准的方法和无标准的方法，并讨论了人们可以从该技术中获得的精度和准确度。该指南适用于在 SEM 或 EPMA 上使用固态 X 射线检测器的 EDS。 EDS 是一种适用于对以下元素进行常规定量分析的技术：1) 原子量重于或等于钠，2) 重量百分比为百分之零点或以上，3) 占据几立方微米或更多，的标本。原子序数低于钠的元素可以使用超薄窗或无窗光谱仪进行分析，但通常精度低于较重元素的精度。可以分析定义为 <1.0 %,2 的痕量元素，但与分析浓度较高的元素相比精度较低。
1.1 本指南旨在帮助那些使用能量色散光谱 (EDS) 进行定量分析的人员使用扫描电子显微镜 (SEM) 或电子探针显微分析仪 (EPMA) 分析材料。它并不是要取代正式的教学课程，而是为该技术的功能和局限性及其使用提供指南。有关该主题的更详细处理，请参阅 Goldstein 等人。本指南不包括使用透射电子显微镜 (TEM) 的 EDS。
1.2 单位8212；以 SI 单位表示的值被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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