本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测量方法。本标准适用于俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器的检测。
GB/T 29556-2013由国家质检总局 CN-GB 发布于 2013-07-19,并于 2014-03-01 实施。
GB/T 29556-2013 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法,在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
随着微电子技术的发展,XPS也在不断完善,目前,已开发出的小面积X射线光电子能谱,大大提高了XPS的空间分辨能力。通过对样品进行全扫描,在一次测定中即可检测出全部或大部分元素。因此,XPS已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能强大的表面分析仪器。X射线光电子能谱的理论依据就是爱因斯坦的光电子发散公式。...
随着微电子技术的发展,XPS也在不断完善,目前,已开发出的小面积X射线光电子能谱,大大提高了XPS的空间分辨能力。通过对样品进行全扫描,在一次测定中即可检测出全部或大部分元素。因此,XPS已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能强大的表面分析仪器。X射线光电子能谱的理论依据就是爱因斯坦的光电子发散公式。...
而筒镜型能量分析器由于对俄歇电子的传输效率高,主要用在俄歇电子能谱仪上。对于一些多功能电子能谱仪,由于考虑到XPS和AES的共用性和使用的侧重点,选用能量分析器的主要依据是哪一一种分析方法为主。以XPS为主的采用半球型能量分析器,而以俄歇为主的则采用筒镜型能量分析器。7、检测器系统光电子能谱仪中被检测的电子流非常弱,一般在10-13A/s~10-19A/s,所以现在多采用电子倍增器加计数技术。...
而筒镜型能量分析器由于对俄歇电子的传输效率高,主要用在俄歇电子能谱仪上。对于一些多功能电子能谱仪,由于考虑到XPS和AES的共用性和使用的侧重点,选用能量分析器的主要依据是哪一一种分析方法为主。以XPS为主的采用半球型能量分析器,而以俄歇为主的则采用筒镜型能量分析器。七、检测器系统光电子能谱仪中被检测的电子流非常弱,一般在10-13A/s~10-19A/s,所以现在多采用电子倍增器加计数技术。...
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