QB/T 4540-2013
超高压短弧汞灯
Super high pressure short-arc mercury lamp
QBT4540-2013, QB4540-2013
- 标准号
- QB/T 4540-2013
- 别名
- QBT4540-2013, QB4540-2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 行业标准-轻工
- 当前最新
- QB/T 4540-2013
- 引用标准
- GB/T 191 GB/T 2423.10 GB/T 2423.6 GB/T 2423.8 GB/T 2829 GB/T 2900.65
- 适用范围
- 本标准规定了超高压短弧汞灯(以下简称“灯”)的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。
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