几何图形制品规范.表面特征:轮廓法.相位校正过滤器的计量特性 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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基于白光干涉仪的3D光学表面轮廓仪被用于可视化我们基板的表面形态和粗糙度。该轮廓仪还被用于表征尺寸从0.5微米到100微米范围内的表面缺陷和其他结构。LAYERTEC利用扫描探针显微镜(原子力显微镜,AFM),其测量范围在10纳米到1微米之间,用于控制表面粗糙度值低于Sq≤5Å的特殊抛光过程,并可根据要求提供检验报告。...
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