KS D ISO 14706-2003
表面化学分析.用全反射X射线荧光光谱法测定硅圆片表面主要污物

Surface chemical analysis－Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence(TXRF) spectroscopy

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标准号

KS D ISO 14706-2003

发布日期

2003年12月29日

实施日期

2003年12月29日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 규격은 기계화학적으로(chemomechanically) 연마하거나 에피택셜(epit

KS D ISO 14706-2003 中可能用到的仪器设备