KS B ISO 10692-2-2003
气瓶.微电子工业用气瓶阀的连接.第2部分:阀与瓶连接的规范和型式试验

Gas cylinders-Gas cylinder valve connections for use in the micro-electronics industry-Part 2:Specification and type testing for valve to cylinder connections

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标准号

KS B ISO 10692-2-2003

发布日期

2003年12月15日

实施日期

2003年12月15日

废止日期

无

中国标准分类号

B11

国际标准分类号

23.020.30

发布单位

KR-KATS

代替标准

KS B ISO 10692-2-2014

适用范围

이 규격은 최고 수준의 청결도 또는 먼지가 없는 곳(예를 들어 마이크로 전자 부품 제조