KS D ISO 14237-2003
表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定

Surface chemical analysis－Secondary-ion mass spectrometry－Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

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标准号

KS D ISO 14237-2003

发布日期

2003年10月06日

实施日期

2003年10月06日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

KR-KATS

被代替标准

KS D ISO 14237-2002

适用范围

이 규격은 붕소가 이온 주입된 인증 표준 물질에 의해 교정된 붕소가 균일하게 첨가된 이

KS D ISO 14237-2003 中可能用到的仪器设备