KS D ISO 17560-2003
表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法

Surface chemical analysis－Secondary-on mass spectrometry－ Method for depth profiling of boron in silicon

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标准号

KS D ISO 17560-2003

发布日期

2003年10月06日

实施日期

2003年10月06日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 규격은 깊이 교정용 stylus profilometery 또는 광학 간섭계를 사용하