KS D ISO 14606-2003
表面化学分析.溅射深度剖面测定.作为参考材料的层系统最优化

Surface chemical analysis－Sputter depth profiling－Optimization using layered systems as reference materials

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标准号

KS D ISO 14606-2003

发布日期

2003年10月06日

实施日期

2003年10月06日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 규격은 오제 전자 분광법, X선 광전자 분광법 및 이차 이온 질량 분석법에서 장비