KS C 0256-2002
硅单结晶及硅片的4探针法的抵抗率测定方法

Testing method of resistivity for silicon crystals and silicon wafers with four - point probe

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标准号

KS C 0256-2002

发布日期

2002年05月29日

实施日期

2002年05月29日

废止日期

无

中国标准分类号

K10

发布单位

KR-KATS

被代替标准

KS C 0256-1999

适用范围

이 규격은 실리콘 단결정(이하 단결정이라 한다.) 및 실리콘 웨이퍼(이하 웨이퍼라 한다