KS D ISO 22048-2005
表面化学分析.静态次生离子质谱法的信息格式

Surface chemical analysis - Information format for static secondary-ion mass spectrometry

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标准号

KS D ISO 22048-2005

发布日期

2005年12月28日

实施日期

2005年12月28日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 규격은 정적 SIMS 계측기에서 스펙트럼 데이터 파일을 효과적으로 사용하는 데 필요한

KS D ISO 22048-2005 中可能用到的仪器设备