KS I ISO 14644-5:2005
洁净室和相关控制环境.第5部分:操作

Cleanrooms and associated controlled environments－Part 5：Operations

被代替

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标准号

KS I ISO 14644-5:2005

发布

2005年

发布单位

韩国科技标准局

替代标准

KS I ISO 14644-5:2020

当前最新

KS I ISO 14644-5:2020

 

 

被代替标准

MISO14644-5

适用范围

이 규격은 청정실의 작업에 관한 기본적인 요구 조건을 설명한다. 이것은 청정실의 사용 및

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