KS D 2715-2006
单晶硅和多晶硅纳米/微薄膜拉伸的试样

Tensile specimen of single- and poly-crystal nano/micro thin film materials

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标准号

KS D 2715-2006

发布日期

2006年12月22日

实施日期

2006年12月22日

废止日期

无

中国标准分类号

H14

国际标准分类号

37.020

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 규격은 반도체 공정을 이용하여 만들어지는 나노/마이크로 크기의 두께를 가지는 단결정