KS D 0258-2012
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

Test methods of crystalline defects in silicon by preferential etch techniques

KS D 0258-2012 发布历史

이 표준은 실리콘 웨이퍼의 결정 결함을 육가 크로뮴을 포함하지 않은 선택 에칭액에 의해 검

KS D 0258-2012由韩国标准 KR-KATS 发布于 2012-05-17，并于 2012-05-17 实施。

KS D 0258-2012 在中国标准分类中归属于: H81 半金属，在国际标准分类中归属于: 77.120.99 其他有色金属及其合金。

KS D 0258-2012的历代版本如下：

• 2012年05月17日 KS D 0258-2012 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

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标准号

KS D 0258-2012

发布日期

2012年05月17日

实施日期

2012年05月17日

废止日期

无

中国标准分类号

H81

国际标准分类号

77.120.99

发布单位

KR-KATS

被代替标准

KS D 0258-2002

适用范围

이 표준은 실리콘 웨이퍼의 결정 결함을 육가 크로뮴을 포함하지 않은 선택 에칭액에 의해 검