KS D 0261-2012
镜面硅片的外观检验

Visual inspection for silicon wafers with specular surfaces

说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
  • 表示标准的节点，可以拖动；
  • 绿色表示标准：KS D 0261-2012 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。

 

 

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标准号
KS D 0261-2012
发布日期
2012年05月17日
实施日期
2012年05月17日
废止日期
无
中国标准分类号
H81
国际标准分类号
77.120.99
发布单位
KR-KATS
被代替标准
KS D 0261-2002
适用范围
이 표준은 반도체 소자용 실리콘 웨이퍼를 화학적ㆍ기계적 방법으로 거울면 다듬질한 웨이퍼(이


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