DIN EN ISO 25178-605:2014 几何产品技术规格(GPS). 表面结构: 平面式. 第605部分: 非接触式(连贯性扫描干涉法)仪器的标称特性(ISO 25178-605-2014); 德文版本EN ISO 25178-605-2014
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 605: Nominal characteristics of non-contact (point autofocus probe) instruments (ISO 25178-605:2014); German version EN ISO 25178-605:2014