对于光刻胶及相关材料中痕量卤素的检测,赛默飞推出CIC在线燃烧离子色谱法,通过燃烧消除基质影响,燃烧后的吸收液进样离子色谱检测阴离子,残渣溶解后进样ICPMS检测金属离子,实现一样两用,对光刻胶样品进行全面分析。对于贯穿整个生产工艺流程的洁净室和微环境,赛默飞能为废水、废气中的各项污染物提供准确的分析解决方案,以及提供VOCs和污染离子的24小时在线监测。...
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