JC/T 2243-2014
等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
Quartz tube covered in a film for PECVD
- 标准号
- JC/T 2243-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 行业标准-建材
- 当前最新
- JC/T 2243-2014
- 引用标准
- JC/T 2066-2011 JC/T 597-2011 JC/T 598
- 代替标准
- KS B 4063-2014
- 适用范围
- 本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管(以下简称PE石英管)。
JC/T 2243-2014相似标准
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