ISO 13095:2014
表面化学分析. 原子力显微镜学. 纳米结构测量用AFM探针柄轮廓的现场鉴定程序
Surface Chemical Analysis - Atomic force microscopy - Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement
ISO 13095:2014 发布历史
ISO 13095:2014由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2014-07。
ISO 13095:2014在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
ISO 13095:2014 发布之时，引用了标准
- ISO 11039:2012 表面化学分析.扫描探针显微镜.漂移率的测定标准
- ISO 11952:2014 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 使用SPM测定几何量:测量系统校准
- ISO 18115-2:2010 表面化学分析.词汇.第2部分:扫描探针显微镜检查中使用的术语
- ISO/TS 80004-4:2011 纳米技术.词汇表.第4部分:纳米结构材料
ISO 13095:2014的历代版本如下：
- 2014年 ISO 13095:2014 表面化学分析. 原子力显微镜学. 纳米结构测量用AFM探针柄轮廓的现场鉴定程序
本国际标准规定了两种表征 AFM 探针尖端形状的方法，特别是柄部和近似尖端轮廓。 这些方法将 AFM 探针尖端的轮廓投影到给定的平面上，并且在定义的操作条件下探针柄的特性也投影到该平面上。 后者表明给定探头在狭窄沟槽和类似剖面中的深度测量的有用性。 本国际标准适用于半径大于50的探头，其中uo是用于表征探头的参考样品中脊结构宽度的不确定度。
- 标准号
- ISO 13095:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 13095:2014
- 引用标准
- ISO 11039:2012 ISO 11952:2014 ISO 18115-2:2010 ISO/TS 80004-4:2011
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