BS ISO 17560-2014
表面化学分析.再生离子质量光谱测定.硅中硼的深仿形分析法

Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Method for depth profiling of boron in silicon

BS ISO 17560-2014 发布历史

BS ISO 17560-2014由英国标准学会 GB-BSI 发布于 2014-09-30，并于 2014-09-30 实施。

BS ISO 17560-2014 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。

BS ISO 17560-2014 发布之时，引用了标准

• ISO 14237-2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
• ISO 5725-2-1994 测试方法与结果的准确度(正确度与精密度) 第2部分:确定标准测试方法重复性和可再现性的基本方法

BS ISO 17560-2014的历代版本如下：

• 2002年08月28日 BS ISO 17560-2002 表面化学分析.再生离子质量光谱测定.硅中硼的深仿形分析法
• 2014年09月30日 BS ISO 17560-2014 表面化学分析.再生离子质量光谱测定.硅中硼的深仿形分析法

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标准号

BS ISO 17560-2014

发布日期

2014年09月30日

实施日期

2014年09月30日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

GB-BSI

引用标准

ISO 14237-2010 ISO 5725-2-1994

被代替标准

BS ISO 17560-2002