GB/T 18867-2014
电子工业用气体 六氟化硫
Gases for electronic industry.Sulphur hexaflouride
GBT18867-2014, GB18867-2014
- 标准号
- GB/T 18867-2014
- 别名
- GBT18867-2014, GB18867-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 18867-2014
- 引用标准
- GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 12022 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 GB/T 3723 GB/T 5832.1 GB/T 5832.3 GB/T 8170 危险化学品安全管理条例(2002版) 气瓶安全监察规程(2000版)
- 被代替标准
- GB/T 18867-2002
- 适用范围
- 本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫”该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。 分子式=SFs”相对分子质量j4皂O跚4192〔按2007 年国际相对原子质量计算)。
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概述六氟化硫的广泛用途
作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。...