KS A 0083-2013
质谱计式检漏仪校准

Mass spectrometer(type leak) detector general rules for calibration system

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标准号

KS A 0083-2013

发布日期

2013年11月05日

实施日期

2013年11月05日

废止日期

无

中国标准分类号

A50

国际标准分类号

01.040.17;23.160

发布单位

KR-KATS

被代替标准

KS A 0083-2002

适用范围

이 표준은 질량 분석계를 검지기로 사용하고, 그 분석관을 작동 가능한 진공 상태로 유지하기 위한진공 배기계를 내장하는 질량 분석계형 누출 탐지기(이하 누출 탐지기라 한다.)의 교정 방식에 대하여 규정한다.다만, 이 방법은 주로 헬륨 4를 사용하는 것에 대하여 적용한다.또한 다른 가스를 사용하는 것에도 준용한다.