KS D ISO 19319-2005
表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测

Surface chemical analysis－Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy－Determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyzer

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标准号

KS D ISO 19319-2005

发布日期

2005年12月28日

实施日期

2005年12月28日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 규격은 오제(Auger) 전자 분광법과 X선 광전자 분광법으로 측정한 (1)측면 분해