SJ/T 11496-2015
红外吸收法测量砷化镓中硼含量
Determination of boron concentration in gallium arsenide by infrared absorption
SJT11496-2015, SJ11496-2015
- 标准号
- SJ/T 11496-2015
- 别名
- SJT11496-2015, SJ11496-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11496-2015
- 适用范围
- 本标准规定了在77 K时,用红外吸收法来测定砷化镓(GaAs)中替位硼含量的方法。本标准适用于电阻率大于106 Ω ? cm的半绝缘砷化镓单晶中替位硼含量的测试,测量硼含量的有效范围是从1×1016 at ? cm-3到2×1018 at ? cm-3。
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