SJ/T 11507-2015
集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液
Oxide coating etching buffer for integrated circuit
SJT11507-2015, SJ11507-2015
- 标准号
- SJ/T 11507-2015
- 别名
- SJT11507-2015, SJ11507-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11507-2015
- 适用范围
- 本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。