SJ/T 11516-2015
薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

Specification for thin film transistor(TFT) mask

标准号

SJ/T 11516-2015

发布日期

2015年04月30日

实施日期

2015年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。

SJ/T 11516-2015 中可能用到的仪器设备