SJ/T 11516-2015
薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

Specification for thin film transistor(TFT) mask


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SJ/T 11516-2015



标准号
SJ/T 11516-2015
发布日期
2015年04月30日
实施日期
2015年10月01日
废止日期
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。

SJ/T 11516-2015 中可能用到的仪器设备





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